Valve主要功能:
Valve主要功能是可開閉氣體管路調節或隔絕真空系統內氣體之流通。
閘閥一般作為阻絕或導通真空腔室通樣品取換室和真空系統各分段間之閥門,或是真空腔室與真空幫浦間之閥門。
真空閥門之基本結構 :
活動桿(STEM)、閥帽(BONNET)、閥體(VALVE BODY)、封板(GATE)
活動桿:閥門的機械引入運動操作機構。
閥 帽:為活動桿導接頭及其真動態封合機構
閥 體:內含閉合機構及管路接口,並以法蘭與真空系統結構或管路接合,接
合部分以O型環或金屬墊圈達到真空封合。
真空閥門依其形狀構造,操作原理及用途分類,種類繁多。依系統真空度需求
分為:
中低真空閥、高真空閥、超高真空閥。
依真空閥門之工作特性,驅動、聯結分式和用途常見的真空閥門為:
電磁閥、閘閥、手動閥、氣動閥、電動閥、蝶閥、直角閥、隔斷閥、節流閥、針閥。